耐深紫外激光辐照特种玻璃
小试 | 整体方案 | 中国
咨询：0 | 浏览：100
技术编号：G19021811435321
合作方式：面议
所属领域：材料科技
应用行业：化工新材料,生产\加工\制造,其它
耐深紫外激光辐照特种玻璃一、项目简介 耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃。 ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。 F2准分子激光157nm的透过率大于80%。 ArF、F2深紫外激光辐照时，玻璃不产生结构缺陷，不发出红色荧光。二、技术成熟度 …
技术详述
耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃。
ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。
F2准分子激光157nm的透过率大于80%。
ArF、F2深紫外激光辐照时，玻璃不产生结构缺陷，不发出红色荧光。
技术优势
掌握了控制性能的关键技术。除了纯度以外，OH、H2含量范围、均匀性的控制及其关键技术。
效果指标
案例描述
适用对象
各种研发合作方式。欢迎洽谈。
