一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置
小试 | 整体方案 | 中国
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技术编号：G19012316170920
合作方式：合作开发,面议
所属领域：机械电子
应用行业：生产\加工\制造,其它
一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置一、项目简介一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置，涉及一种化学机械抛光设备。设有底座、防水罩、抛光盘、电热丝、导电环、温控器、计算机、弹力电磁条圈、接收磁条圈、止浮轨、工件夹具、温度传感器、无线接收模块和抛光液添加装置；…
技术详述
一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置，涉及一种化学机械抛光设备。设有底座、防水罩、抛光盘、电热丝、导电环、温控器、计算机、弹力电磁条圈、接收磁条圈、止浮轨、工件夹具、温度传感器、无线接收模块和抛光液添加装置；防水罩绕设于底座上端周边；抛光盘固于防水罩上端，底部设有涡状凹槽；电热丝嵌于涡状凹槽内，电热丝与温控器电连接，温控器与计算机连接，弹力电磁条圈固于底座上表面，接收磁条圈固于抛光盘底面，弹力电磁条圈与接收磁条圈的磁性相同，止浮轨固于底座上且压住弹力电磁条圈，传感器设于夹具周边，传感器上设有无线传输模块，无线传输模块与设于计算机上的无线接收模块无线信号连接，抛光液添加装置设于抛光盘侧边上方。
技术优势
小试阶段（已完成实验室路线、方法验证）。
效果指标
案例描述
适用对象
合作开发、专利（实施）许可。
