紫外光电探测器由于在紫外天文学、环境监测、火灾探测、涡轮引擎燃烧效率监测、可燃气体成分分析和生物细胞癌变检测等方面有着广阔的前景,具有极高的军事和民用价值。采用4H-SiC半导体材料制备的紫外光电探测器,具有优良的可见光盲、漏电低、灵敏度高的特性,其探测波长范围在200-380nm,响应度约130mA/W,结电容约10fP,漏电流小于1pA,TO46金属管平面光窗封装。
我们从2002年就开始开展4H-SiC半导体紫外光电探测器的制备研究,掌握了SiC器件的制备关键工艺技术,研究了多种金属与SiC接触的性能,摸索出从材料清洗到封装的全部工艺流程,制备出的器件经省电子产品质量检验所检测,主要技术参数接近国际水平。
面议。