Si基MEMS红外光源制造技术
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技术编号：G19011614121012
合作方式：技术转让,面议
所属领域：环境工程,生物医药,机械电子
应用行业：环保行业,IT\通信\电子\互联网,其它
Si基MEMS红外光源制造技术一、项目简介Si基MEMS红外光源具有很多优点：①光源具有体积小、能耗低和寿命长的特点。根据不同的使用目的和要求可封装成标准的单个和阵列器件，即插即用，方便可靠；②光源可在连续工作模式和脉冲模式下工作，高调制特性可实现编码调制的隐蔽工…
技术详述
Si基MEMS红外光源具有很多优点：①光源具有体积小、能耗低和寿命长的特点。根据不同的使用目的和要求可封装成标准的单个和阵列器件，即插即用，方便可靠；②光源可在连续工作模式和脉冲模式下工作，高调制特性可实现编码调制的隐蔽工作方式，因此在军事目标敌我识别上有较大应用前景；③光源可实现低成本大批量的制造。使用了特殊的晶片以简化红外光源的光学衬底的生长工艺, 可与现有的COMS工艺相兼容，生产成本低，提高了产业化的可能；④该光源通过技术扩展可实现窄带发射和波长可调谐的特点，可用来实现特种气体探测芯片的制造；⑤绿色、环保、无污染光源。
技术优势
我们从2006年就开始Si基MEMS红外光源的制备研究，目前Si基MEMS红外光源的制备工艺已很成熟，已进行了多次中试试验，性能达到或优于国外同类产品的技术指标。使用Al电极，器件最高温度可以达到850C，在600C时寿命不低于5年，可靠性测试表明器件满足使用要求。
效果指标
案例描述
适用对象
技术转让，产品订购、风险投资，合资入股。
