微电子结构关键尺寸测试/分析技术
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技术编号：G19102409093276
合作方式：面议
所属领域：机械电子
应用行业：IT\通信\电子\互联网,生产\加工\制造,其它
G19102409093276主要技术成果简介(如有多项，可另填表格)技术成果名称微电子结构关键尺寸测试/分析技术项目简介微电子芯片结构关键尺寸（CD）测试的技术是半导体集成电路以及其他微电子工艺制造中的关键技术。采用光学技术及相关算法软件的关键尺寸测试/分析（简称OCD）是…
技术详述
微电子芯片结构关键尺寸（CD）测试的技术是半导体集成电路以及其他微电子工艺制造中的关键技术。采用光学技术及相关算法软件的关键尺寸测试/分析（简称OCD）是最经济也是唯一能实现生产线在线检测的方法，是集成电路基础产业链中一个不可替代的重要环节。基于此技术的测试设备制造/服务企业主要在硅谷，如KLA-Tencor, Nanometrics等。半导体集成电路(包括光电集成等新)技术的发展，不断对测试技术提出新的要求。因此该技术一直在更新发展之中。目前国内集成电路产业迅速发展，但多数相关设备都需要进口，OCD技术设备也是其中之一（100%进口），而国内的相关技术基础已经具备。同时该技术还可服务于新材料、工艺方面的科学研究。对于国家半导体产业的布局以及IT技术相关产业链的建立，具有重大的意义。
技术优势
成熟，可实现产业化。
效果指标
案例描述
适用对象
股份合作、共同申报国家项目，或其他合作方式。
